logo gemu

Regulační ventil C53 iComLine

Jmenovitý tlak

0 - 6 bar

Konstrukce

2/2 sedlový membránový ventil

Krytí

IP65

Materiál

PFA, PTFE TFM

Napětí

24V DC

Ovládání

elektrickým krokovým motorem

Popis

2/2 sedlový regulační ventil pro vysoce čisté aplikace v polovodičovém průmyslu. Velikost 1/4" - 3/4", s elektrickým pohonem 24V DC.

Řídící signál

0-10V nebo 4-20mA

Teplota média

+10...+150°C

Ovládací čas

max. 2mm/s

Velikost připojení

1/4" - 3/4"

Způsob připojení

koncovky Flare, PrimeLock® , Super 300 Type Pillar®

Polovodičový průmysl klade vysoké nároky na technologii ventilů, měření a regulaci. Pneumaticky ovládané ventily již nestačí ke splnění požadavků na řízení předních výrobců procesních zařízení. Z tohoto důvodu vyvinula společnost GEMÜ (specialista na procesní ventily) regulační ventil C53 iComLine ovládaný elektromotorem.

Dvoucestný membránový sedlový ventil GEMÜ C53 iComLine byl vyvinut pro přesné a náročné řídicí aplikace při výrobě polovodičů. Těsnicí princip ventilu je založen na osvědčené technologii GEMÜ PD, ve které jsou pohon a médium odděleny kónickým regulačním kuželem vyrobeným z odolného PTFE. Vzhledem k tomu, že lze přizpůsobit konturu ovládacího kužele, velikost zdvihu pohonu a velikost připojení, splňuje GEMÜ C53 iComLine téměř všechny požadavky na řízení a průtok v high-tech polovodičovém průmyslu. Kombinací přesného krokového motoru s vysoce čistými materiály těla je ventil vhodný zejména pro litografické, CMP a leptací procesy, jakož i pro aplikace v analytické oblasti v každé výrobě polovodičů.

Membránový sedlový ventil GEMÜ C53 iComLine lze instalovat nejen jako jednoduchý obousměrný ventil. Integrací do M-Block GEMÜ PC50 iComLine je také možné implementovat složité vývojové diagramy v minimálním prostoru. Při zpracování křemíkových destiček lze použít vícecestný ventilový blok, například ve FOUP-Cleaneru, k regulaci teploty DI vody. Za tímto účelem mohou být do M-Block GEMÜ PC50 iComLine integrovány zpětné ventily a senzory.

 

Katalogové listy ke stažení

Volejte tel.: +420 548 426 811

Najdete nás i na Facebooku:     Facebook